白光干涉显微成像系统
垂直方向超高分辨率非接触3D表面轮廓仪
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型号
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高分辨率型
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高速型
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BW-
S501
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BW-
S502
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BW-
S503
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BW-
S505
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BW-
S506
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BW-
S507
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BW-
D501
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BW-
D502
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BW-
D503
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BW-
D505
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BW-
D506
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BW-
D507
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算法
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多焦面叠加白光干涉(FVWLI)
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垂直方向分辨率
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1pm(0.001nm)
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再现性
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σ<8nm/8μm台阶
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图像像素
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2046x2046,1022x1022(根据应用可选)
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510x510
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测量速度
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38sec,16sec/10μm扫描
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4sec/10μm扫描
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范围
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<90μm
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<20mm
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<90μm
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<20mm
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<90μm
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<20mm
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<90μm
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<20mm
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视场大小
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<4448μmx4448μm
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<2015μmx2015μm
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压电驱动器
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物镜驱动
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物镜转换器驱动
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物镜驱动
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物镜转换器驱动
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Z轴
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手动
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电动(20mm)
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手动
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电动(20mm)
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手动
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电动(20mm)
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手动
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电动(20mm)
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