光学3D表面轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

1、表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）

2、几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）

光学3D表面轮廓仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为光学3D表面轮廓仪。

除了负责产生干涉条纹，各类干涉物镜还决定了系统很多关键性能，如光学分辨率，工作距离，齐焦距离， 坡度能力，视场范围等等。